日立S-3400N扫描电子显微镜
HORIBA EX-350X射线能谱仪
S-3400N具有最新开发的电子光学系统，具有更多的自动化功能，操作界面更友好。
特点:
1. S-3400N的设计具有自动合轴功能，这是其他同类电镜所不具备的功能。包括自动束流设定，自动轴向合轴等功能。
2. 在3kV低加速电压时保证有10nm的分辨率
3. 实时显示两个图像，也具有实时全屏显示图像的功能
4. S-3400N II型具有五轴马达台，倾斜角度可达-20度~+90度，样品最高可达80mm
5. 分析样品仓可以同时安装EDX ， WDX 及EBSD
6. 由于真空系统使用涡轮分子泵，节约占地面积和电源消耗。
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能谱仪(EDS)是用来对材料微区（微米或纳米尺度）的成分元素种类与含量分析，配合扫描电子显微镜使用的仪器。
扫描电子显微镜（SEM）以高能电子束对样品进行扫描，比光学显微镜的放大率高很多。这种仪器增大了放大率，也增大了焦深，允许通过微粒的特有结构来鉴别各种物证。每种元素都产生特有的X射线，被检验物的元素分析就得以通过x射线能谱仪进行。